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Measuring the Nearly Immeasurable不可思议的晶圆厚度测量 在柏林费迪南德布劳恩研究所生产的半导体激光和高频放大器晶圆必须达到一个极度精密的层厚度。洁净室工人使用Werth多传感器坐标测量机监督这个过程。该机配有色差传感器,准确的无接触捕捉所需的测量元素。 在柏林的费迪南德布劳恩研究所、莱布尼兹研究所。共有220名员工,其中包括110名科学家。开发和生产用于材料加工、和精密测量技术,以及其他二极管激光器产品。另一个是通信技术、电力电子技术和传感器的高频零件的生产。“该半导体激光器具有低的安装高度,以及高精度的抛光和接触力,”工艺技术部的Dr.AndreasThies说这些。虽然这样的激光不大于一粒米,但它可以输出高达20瓦的连续波操作,或100瓦的快速脉冲波。激光在光盘中的大约是5000到25000倍。这些特点,伴随着在极端条件下的高可靠性,使得FBH激光器享誉全球。他们甚至在外太空试验,例如,在下一代GPS卫星的原子钟。光学有许多领域的应用案例。在医学技术中,他们通过开启一种准确定义的波长和受影响的被破坏细胞,在“Zhongliu”细胞中建立的“Yaowu”来帮助“Zhiliao”的光动力疗法。进一步的应用包括光学精密测量,工业测量和材料处理(粘接、焊接、雕刻)。 晶圆的各种加工过程 微波技术的研究和开发工作和光电是对基本技术的基础上完成的。利用外延(在单晶底面上放置的单晶半导体层),与所需的极薄的层的特征材料组装在硅晶圆上。使用现代工艺,晶圆要进一步加工,加工流程包括光刻方法,湿法和干法刻蚀工艺和金属化的步骤。约2000片与微波电路,或10000个激光芯片,能够组装成4英寸晶圆。 不可思议的晶圆厚度测量 图1在洁净室里:员工使用3D多传感器坐标测量机,采用色谱聚焦传感器测量晶圆厚度 在技术人员将芯片从晶圆分离并且把它们组装到光电或者高频原件...
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线色谱传感器—高速下的高精度 WERTH为2017年Control展隆重推出新研发的传感器系列:线色谱传感器(ChromaticFocusLineSensor,CFL)。其可以快速采集整个零件的几何形状。通过选用不同的物镜,调节测量误差和测量范围来适应各种应用需求。通过大的轴向测量范围,不需要针对零件几何形状的可控的补充。以便通过扫描,快速并大面积获取零件几何形状。针对表面有高度变化的零件可以采用3D仿样进行扫描。线色谱传感器可以用于测量漫反射、镜面和透明零件以及有较大倾斜角的零件表面。 CFL在零件表面投影一排约200个白色光点。从零件表面反射回的光线将通过光谱分析,确定传感器和零件表面之间的距离。通过新的线传感器创新次实现了高速并且高精度地、完整地采集零件3D数据。仅仅用3秒钟就能够测量100万个测量点。 线色谱传感器还具有另一个有趣的功能:反射回的光的波长强度被分析评估,并创建零件表面的栅格图像。其后续的分析评估允许通过图像处理软件“在图像内”确定零件坐标系或者测量几何特征。在此基础上,由于位置的确定,可以不需要传感器转换就使用各种其他传感器进行测量。 在快速的测量速度下,CFL的测量准确度允许测量精密零件和微特征。该传感器不仅可以用于镜面或者透明零件如冲压印模或者硬质合金及金刚石刀具的测量,也可以用于漫反射的塑料零件的测量。通过高点密度来确定不同表面的形貌。例如微机械零件手表表盘。CFL的另一个典型应用是在半导体技术领域,在生产工序中,对于LED阵列的共面的测量。作为测量结果,是以点云的形式体现零件表面的完整形状,借此测量平面度或者粗糙度以及几何元素。也可以用颜色编码显示出理论实际值偏差。 线色谱传感器—高速下的高精度 线色谱传感器测量的点云数据和CAD模型的颜色编码偏差显示 线色谱传感器—高速下的高精度 手表表盘的栅格图像.线色谱传感器测量的点云数据和CAD模型的...
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用户是一家全球的汽车行业一级供应商,以研发和制造传动系统闻名于世。现代智能化齿轮轴硬度测试 需求 改进工艺标准和简化操作者影响 随着软车削和切割操作,传动系统中的轴和齿轮在进行炉热处理,表面淬火硬化。 在表面硬化时,部件的表面层首先经过碳富集然后硬化。这增加了表面层的硬度,从而增加的抗压强度和疲劳强度,以及耐磨损性。样品的核心保持韧性,具有较高的强度,因此抗冲击-传动系统的基本特征。 进行回火作为硬化过程的一部分。回火稍微减少了硬度,并大大提高了屈服强度(韧性)。 快速和简单的质量和过程控制,每个批次部件,必须在热处理工艺后立即测试。同时,要求改进工艺标准。该批次的分类必须在未来随时能够调用,所有相关数据必须自动保存。 现代智能化齿轮轴硬度测试 硬度测试机符合如下需求: 1.多种部件,根据生产线:各种不同形状和尺寸需要测试。 2.操作进程速度:扫描部件条码,硬度测试机从数据库检索测试方法,并返回测试结果。 3.简化使用者操作:由QA软件分配测试工件,并将测试结果通过RS232接口传输到QA软件。 4.硬度测试机操作简单:多个操作工对多条生产线进行硬度测试,无需复杂培训。 5.轻、紧凑:由于硬化车间的空间限制,硬度测试机不应该占用较大空间。 解决方案 DuraJet10G5简单快速 现代智能化齿轮轴硬度测试 一台Durajet10被放置在每一个生产线。由于电子压载控制系统主要载荷从1到250kgf,单台设备即可覆盖整个洛氏范围。可在生产线上直接快速测量表面硬度。 此外,在300x740x565mm的Durajet是紧凑和轻量的硬度计。因此,它不需要很大的空间。由于高精度测试头,广泛的部件可以夹紧和测试。 使用串行接口(RS232)可进行完整的数据管理。所有数据以ASCII格式输入和输出。因此,所有数据可以导出到该公司的QA软件,在那里进一步处理。由此,数据不再丢失。...
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行业需求光学产品、玻璃及玻璃制品应用领域实验室客户主要产品: 双筒望远镜,望远镜,望远镜瞄准器 用户是全球的狩猎、观景的光学产品提供商。需求阳极氧化层和玻璃硬度测试 需求 阳极氧化和玻璃硬度测试 阳极氧化涂层是铝上的氧化保护层。在创新步,铝制部件脱脂并酸洗。酸洗出去薄的天然氧化物层,其后是实际的阳极氧化。然后将新制备的多空层着色并随后密封。阳极氧化是使用直流和酸性电解质进行的电解过程。再次密封该层,以防止腐蚀导致物质沉积,并收缩闭合孔。阳极涂层表现出极高的硬度,耐磨。这些黑色涂层也表现出好的耐腐蚀特性,它们通常用作装饰涂料。这些应用的挑战是找到正确的阳极涂层测试方法,因为它们一方面薄,另一方面它们暗。此外,还需要对玻璃进行测试,因为玻璃在内部测试的过程中测试,这里必须哪些测试方法是合适的。还可以自动生成针对客户要求的报告。解决方案DuraScan 20因为阳极涂层薄,所以只能使用低试验力。使用努氏HK0.01方法,我们已经成功地直接对涂层进行了测试。努氏压痕不能深入渗透材料,适用于薄涂层。努氏方法用于玻璃硬度测试也是合适的,使用的测试方法取决于玻璃。使用DuraScan20可以进行努氏和维氏测试,负载范围从10g到62.5kg。配置了维氏和努氏压头,自动转塔配有三个镜头,覆盖了整个负载范围。自动亮度控制可以在黑暗的表面进行测试。测试报告是根据客户要求量身定制的。因此可以在测量结束时自动生成报告。为什么选择EMCO-TEST?硬度测试机的独特设计引起了客户的兴趣,他们对DuraScan20印象深刻。电动Z轴设计,向前迈出了一大步,大大减轻了工作量。 “转塔超级棒!当测试阳极氧化涂层时,通常需要多次测量以找到测试负载。如果我每次都要在压头和镜头之间转换,会浪费大量时间。就这样,一切都是自动的,真的很快!此外我有不同的光学镜头在转塔上,因此将节省更多时间。我还发现这台设备性价比极...
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近年来,计算机断层扫描技术的发展集中于大型零件和难以穿透的物质的高分辨率测量的研发。为此,必须使用大型和重型坐标测量机。X射线管产生了2个分支:封闭式射线管在2到3年后必须更换;开放式射线管每年必须进行多次保养。这导致了频繁停机以及高昂的维保费用。 小工件工业CT无损高精密测量绝配-TomoScopeXS TomoScope®XS综合了不同类型设备的很多的优点,具有独特性。 TomoScope®XS是一款小尺寸高科技的机器。新的设备类型综合了不同类型设备的很多的优点,具有独特性。创新次以直板设计出现的穿透式射线管具有小焦点大功率的特性,可以实现快速并且高分辨率测量。新的X射线管结合了封闭式和开放式微焦点射线管的优点。X射线管、发电机和真空发生器的直板设计实现了开放式结构。使得维保周期延长并且理论是实现了无限的使用周期。停机时间和运营成比得到了减少。大的管电压可以达到130kV或者可选160kV,可以用于测量较大和高密度材质的零件。通过气浮转台使得零件可以高精度定位,减少测量误差。 由于紧凑的设计,缩小了相应的尺寸并且减少了重量,TomoScope®XS几乎可以被放置在场所。低购置成本和运营成本实现快速的收益。面向未来的理念为升级到160kV的管电压以及80W的功率提供了可能性。 如同WERTH的所有CT设备一样,TomoScope®XS在采集图像的同时进行零件的3D重构,实现快速同步进程测量。测量软件WinWerth®保证了整个测量过程中测量结果的可追溯性。WERTH是一家拥有对CT设备校准资质的DAkkS实验室证书的生产厂家,保证了测量结果的可靠性以及可追溯性。推出符合精度标准的紧凑且价优的设备。快速回报及低廉的维护成本可以使得大量采购带有CT传感器的TomoScope®XS用于不同零件的测量成为可能。...
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插头连接器之类的电子元器件的尺寸越来越小,这对制造业提出了更大的挑战。ERNI电子采用三维数控多传感器测量设备来确保其制造工艺,其中一台设备带有X射线计算机断层扫描技术。现代测量技术能够快速地实现工艺验证。【未来测量学】多传感器系统是实现零缺陷生产的基础 ERNI电子引入了“零缺陷生产“技术。该公司在斯图加特附近的阿德尔贝格生产大量各种电路板连接器和I/O插头连接器,背板,连接器电缆,外壳,系统和工具。许多产品通过供应商进入汽车工业领域,在那里要求已安装的组件具有特别高的品质。 因此,质保部的配套设施是名列前茅的。在测量实验室里,除了各种三维数控多传感器测量机以外,还有一台带有X射线计算机断层扫描传感器的三坐标测量机(CMM)。为了让工人能够迅速检查他们的工作成果,在生产车间里安置了一台复合式三坐标测量机。 质量管理部负责人OliverJehlitschke解释说:“汽车工业总是希望增加电路板的封装密度。这意味着,我们要不断开发更小的插头连接器。因此,我们必须不断调整生产和测量条件。” 他所在部门的长期指导者和合作伙伴是Werth。这个位于吉森的公司是现代三坐标测量界的优良供应商。其专门从事生产带有光学传感器和X射线断层扫描技术的三坐标测量机,以及复合式三坐标测量机。早在1996年,ERNI就引进了一台紧凑型设备VideoCheckIP250,用于插头连接器、外壳和打孔带的光学测量。如今,它已被一台更新、更准确的同类型测量机所替代。对于较大的零件,ERNI在1999年投入使用了VideoCheckFB固定桥式测量机,它的测量范围是400×400×200mm。它配备了远心光学镜头,以及获得Werth光纤探针和传统的3D触发式探针。 计算机断层扫描技术使三坐标测量机更加完善 ERNI测量实验室的一大亮点是自2008年以来就被投入使用的WerthTomoSco...